La micro-fluorescence X (μ-XRF ou micro-XRF) est une technique d’analyse conforme aux principes de la fluorescence X (XRF). La différence réside dans le fait que le µ-XRF a un niveau de résolution spatiale à l’échelle du µm, tandis que le XRF fonctionne au niveau du mm. Une optique polycapillaire spécialisée est utilisée pour réduire la taille du spot de faisceau de rayons X à l’ordre du µm.
L’échantillon est placé sur une platine motorisée, permettant des mouvements et un balayage. Cela permet de numériser un échantillon et de créer une image radiologique associée à la composition de l’échantillon élémentaire localisée pour chaque position de l’échantillon (cartographie élémentaire), au niveau du µm.
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- Données élémentaires spatiales
- Type de données similaires à SEM / EDS – élémentaire
- Analyse ponctuelle
- Cartographie élémentaire
- Balayage de lignes
